SOGEVAC 机组的典型应用领域包括工业、研究和化学。其中重点是金属生产和加工、干燥和脱气、热处理、太阳能部件和半导体制造领域中的镀膜以及表面细化等工艺。SOGEVAC 机组还可用作高真空系统的前级泵组，与扩散泵、涡轮分子泵和低温泵结合使用。

在常见的真空炉工艺中，例如硬化、退火、硬钎焊、熔化和铸造，通常优选使用油封或干式压缩标准真空泵系统。油封系统由罗茨真空泵与单级或双级旋片组合而成。