扩散泵操作简单，没有运动部件，相对便宜，维护很少且容易。但即便如此，使用扩散泵也有一些需要注意的地方。下面列出真空炉用户在使用扩散泵时应该避免的12件事。
1、切勿使用替代泵油。
2、如果扩散泵处于真空状态，切勿停止冷却水或打开注油塞（尤其当它温度很高的情况下）。
3、当真空炉系统内发生泄漏或持续产生的气体，导致压力比泵的出气口附近还要高2μmHg，切勿让进气阀保持打开状态。
4、切勿使用高于推荐额定功率的加热器。
5、油位低时，切勿操作扩散泵。
6、恒温装置通常会在缺少泵油或缺水的情况下为泵提供保护，但是控制电路有可能发生故障。所以，如果没有冷却水循环或没有合适的前级泵时，切勿操作扩散泵。对于大型设备，建议使用双重保护。
7、切勿撤销保安全保护装置。
8、当扩散泵温度很高时，切勿让空气进入泵内。
9、除非泵内有一定的油量，并且气体排空到压力为0.5μmHg以下，否则切勿打开泵的电源。
10、切勿用有可能与推荐泵油产生反应的蒸汽、粉末或材料，以免污染泵。
11、如果泵发生故障，切勿使用快速冷却水管，否则有害的冷凝水分会聚集到加热器末端。
12、当泵停止运行并暴露在大气中时，将泵的冷却水放尽排空，否则会导致泵内产生水分凝结。
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