随着我国空间科学技术的发展，真空测量技术也得到长足进步，已广泛应用在航空航天、电气电子、石油化工等行业。特别是我国载人飞船、登月工程、火星探测等一系列国防新领域的飞速发展，对真空测量提出了更高的要求，相应的高精度、高可靠性的真空计量校准需求也应运而生。
真空系统校准装置的设计组成
为满足航天器热试验常用真空计及标准漏孔的校准需要，研制了多功能真空校准装置。多功能真空校准装置可用于进行热偶真空计、压阻规、电容薄膜真空规、潘宁规、热阴极电离规等真空测量传感器的校准，同时也可以用于渗透型真空漏孔的校准。
1、装置概述
多功能真空校准装置主要由高真空校准室、低真空校准室/ 稳压室、真空抽气系统、漏孔校准系统、电气控制及信号采集系统组成。
真空系统校准装置的主要性能指标：
极限真空度
高真空校准室极限真空度9.3×10-8 Pa，下游室极限真空度1.1×10-8 Pa，低真空校准稳压室极限真空度4.2×10-7 Pa。
2、校准真空室动态真空度稳定性能
根据相关国家标准对本装置校准范围内的校准室在进行动态比对校准时的真空度稳定性能进行检测，从133kPa～9.5×10-5 Pa 范围内选择20 个压力点，每个检测点停留5 分钟，测试结果表明在133kPa～9.5×10-2 Pa 范围内，稳定度可控制在2%以内， 在9×10-2 Pa～9.5×10-5 Pa 范围内，稳定度可控制在1%以内。
3、系统不确定度分析
综合考虑GP370 离子规的不确定度指标和校准装置的固有特性，系统装置标准不确定度为4.2%，数据处理引入的不确定度为0.5%，整个装置的合成不确定度为4.3%， 扩展不确定度为8.6%。
文章来源： /news_show.php?doid=243，转载请标题出处，谢谢合作!
正在寻求可靠的真空系统 解决方案吗？
