灵活

这些高真空泵安装在任何方向都能实现高性能运行，并且可以轻松集成到您的真空系统中。

MAGiNTEGRA 磁悬浮分子泵，体积小，安装简单，能够产生清洁的高真空和超高真空。

它设计灵活，控制器安装在侧面或底部，采用创新的模块化工业通信解决方案，系统集成更容易。

适用于工业应用，比如 PVD、显示、光学和建筑玻璃镀膜。

可靠

TURBOVAC MAGiNTEGRA 对于气体具有高抽速和高压缩比。

对如下影响不敏感：

• 工艺颗粒和灰尘
• 气体冲击。

无油，可确保清洁的高真空和超高真空条件。

它集成了复合型和经典型涡轮转子级以及板载变频器和电源。

振动低，具有高度的操作可靠性。

运行成本低

在大多数应用中免维护，具有监测和自我保护功能。