• 适用于在 10-2 至 10-4 mbar（0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-4 Torr）压力范围内需要高抽速的应用
• 在必须避免因空气进入或抽取的介质泄漏而可能造成污染的情况下使用
• 吸入或抽取高纯度气体
• 在不得由电机风扇循环通风的洁净室中使用

RUVAC 罗茨泵是low-e镀膜行业中的标配设备。当与现有的油封 SOGEVAC 泵结合使用时，它们可在进出样室中实现较短的抽气时间。当与干式压缩 DRYVAC 和 SCREWLINE 泵结合使用时，它们可确保在工艺室中实现干燥、可靠和无故障的真空。

RUVAC 罗茨泵应用广泛，可在特别需要快速抽空的应用中实现尽可能短的周期时间，例如在进出样室或高速食品包装中。

RUVAC 罗茨泵在镀膜工艺流程前可快速达到低于 10-3 mbar 的压力，抽空灯具和绝缘表面，满足工艺要求。

RUVAC 罗茨泵还在长晶设备中用于制造单晶硅，单晶硅是制造半导体和太阳能电池的基本材料。我们很乐意为您提供我们广泛的产品以及应用支持和专业技术。