RUVAC WH / WHU 罗茨泵应用广泛,可实现尽可能短的运行周期,例如在快节拍食品包装中。
对于薄膜镀膜应用,RUVAC WH / WHU 罗茨泵可在气相沉积工艺流程之前或锂离子电池制造流程的电解液脱气之前,快速达到低于 10-3 mbar 的压力。
RUVAC 罗茨泵还用于制造单晶硅,单晶硅是制造半导体和太阳能电池的基本材料。我们很乐意为您提供我们广泛的产品以及应用支持和专业技术。
选装变频器可提高 RUVAC WH 的抽速,缩短抽气时间。
RUVAC WHU 泵配有旁通管路,可在大气压力下以功率上限运行。WHU 配备了改进的阀门技术,可在短节拍抽空中实现尽可能高的效率。集成式旁通管路允许在大气压力下启动并运行 WHU 泵,而独特的控制活门提供了充分的防污染性。
RUVAC 罗茨泵可为建筑玻璃镀膜等需要短节拍的应用提供高抽气效率。RUVAC 泵由久经考验的 SOGEVAC 油封式旋片泵或 DRYVAC 和 SCREWLINE 干式螺杆泵作为前级泵,可为真空进出样室应用提供尽可能短的抽气时间,并优化了工艺室应用中的无故障真空抽气。
WH 系列罗茨泵专为在以下应用中部署而开发:对运行压力、周期时间和系统正常运行时间要求较高的各类应用。
- 显示屏生产
- 玻璃镀膜
- 储能应用
- 太阳能行业
- 熔炉应用
- 工业镀膜工艺
- 研究领域
- 空间环境模拟