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压力: 0.001 - 0.005 hPa (mbar)
额定抽速: 100 - 9000 m3/h
COBRA DS 3010 D 和 COBRA DS 8161 D 干式螺杆真空泵专为工艺严苛的太阳能、平板显示器和半导体应用提供先进的高负荷和大流量进出片室解决方案。该真空泵采用独特的螺杆设计，并且集好的抽速、强劲的抽氢性能，以及好的粉尘处理能力于一身。
COBRA DS 3010 D 和 DS 8161 D 配备了高能效电机和先进的休眠模式功能，可节省
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