EXT 复合涡轮分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和高真空。
产品详情
EXT 设计将经实践证明的陶瓷机械下轴承、干式永磁上轴承和 Holweck 分子级技术与带来额外便利性的板上控制器和 24V 直流电机结合在一起,可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作,同时将维护需求降至低。
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紧凑型设计:
性能优异,可以实现系统化 -
可靠:
永磁上轴承和油润滑底轴承,可以实现无忧操作 -
与 Edwards TAG 和 TIC 涡轮仪器控制器兼容:
增加多达 3 个真空计而不需要额外的真空计控制器 - 符合 RoHS
- 获得 CSA/ULC 认可