磁悬浮分子泵具备准确性,精准度和科可靠性特性,高抽速,大气载用于快速抽空和改善工艺周期。
产品详情
欧瑞康莱宝磁悬浮分子泵基本参数:
技术参数表[50Hz] |
TURBOVAC MAG |
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MAG W500ip |
MAG W800 ip |
MAG W1300 ip |
MAG W1600 ip |
MAG W1700 ip |
MAG W2200 ip |
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MAG W600ip |
MAG W900 ip |
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抽气速率[l/s] |
330 |
550 |
1100 |
1600 |
1610 |
2100 |
最大压力差[mbar] |
≤1*10-8 |
≤1*10-10 |
≤1*10-8 |
≤1*10-8 |
≤1*10-8 |
≤1*10-8 |
高真空接口法兰 |
DN68ISO-KF |
DN 110 ISO-KF |
DN 120 ISO-KF |
DN170 ISO-KF |
DN170 ISO-KF |
DN170ISO-KF |
前级真空接口法兰 |
DN152ISO-KF |
DN 245 ISO-KF |
DN 280 ISO-KF |
DN380 ISO-KF |
DN380 ISO-KF |
DN380ISO-KF |
分子泵应用范围覆盖多个领域:
分析仪器(质谱分析法、显微镜等)
半导体行业(电子组件、集成电路、太阳能电池等)
光学/玻璃行业(隔热保护、防反射、反射、滤光镜镀膜等)
真空镀膜技术*(表面保护、装饰土层、显示技术、屏幕等)
真空冶金(真空焊接、真空烧结、真空合金、真空炉等)
泄漏检测(真空系统、机车燃料箱、安全气囊、真空包装行业)
科研设施(核粒子物理学、核聚变研究、激光应用等)
灯具行业(灯具生产等)