TURBOVAC机械轴承涡轮分子真空泵用于压强范围10-1 mbar (0.75 x10-1 torr) - 10-10 mbar (0.75 x 10-1 torr)。
产品详情
莱宝TURBOVAC机械轴承涡轮分子真空泵技术参数：
|
技术参数[50Hz] |
TURBOVAC |
||||||
|
TURBOVAC50 |
TURBOVAC151 |
TURBOVAC361 |
TURBOVAC600C |
TURBOVAC1000C |
TURBOVAC1100C |
TURBOVAC SL80 |
|
|
|
TURBOVAC151C |
TURBOVAC361C |
|||||
|
抽气速率[l/s] |
33 |
145 |
345 |
560 |
850 |
710 |
40 |
|
最大压力[mbar] |
≤5*10-8 |
≤1*10-10 |
≤1*10-10 |
≤1*10-10 |
≤1*10-10 |
≤3*10-10 |
≤2*10-10 |
|
高真空接口法兰 |
DN40 ISO-KF |
DN 100 ISO-KF |
DN 100 ISO-KF |
DN 160 ISO-KF |
DN 160 ISO-KF |
DN 160ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
|
前级真空接口兰 |
DN16 ISO-KF |
DN 25 ISO-KF |
DN 25 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
DN 63ISO-KF |
DN 16 ISO-KF |
分子泵应用范围覆盖多个领域：
分析仪器（质谱分析法、显微镜等）
半导体行业（电子组件、集成电路、太阳能电池等）
光学/玻璃行业（隔热保护、防反射、反射、滤光镜镀膜等）
真空镀膜技术*（表面保护、装饰土层、显示技术、屏幕等）
真空冶金（真空焊接、真空烧结、真空合金、真空炉等）
泄漏检测（真空系统、机车燃料箱、安全气囊、真空包装行业）
科研设施（核粒子物理学、核聚变研究、激光应用等）
灯具行业（灯具生产等）
