DRYVAC是新推出的干式压缩真空泵,根据应用特点泵可配置不同组件。DRYVAC系列为满足光电、显示器和加工工业应用特点而专门开发。
产品详情
螺杆真空泵-DRYVAC DV系列基本参数:
抽速:450~5000m3/h
真空度:<0.005mbar
电机功率:11~30KW
噪音:65dB(A)
冷却方式:水冷
技术参数表[50Hz]
DRYVAC DV
DV 450
DV 650
DV1200
DVR5000 C-i
DV 450-r
DV 650-r
DV1200 ATEX
DVR5000 S-i
DV 450 S
DV 650 S
DV1200 S-i
DVR5000 i
抽气速率[m³/h]
450
650
1250
3800
最大压力差[mbar]
≤5*10-3
≤5*10-3
≤5*10-3
≤5*10-4
螺杆真空泵-DRYVAC DV系列基本特点:
Technical Date[50Hz]
Nominal displacement[m³/h]
Max.differentialpressure[mbar]
1、泵为完全密封结构,对外只有无磨损的O圈静密封,消除泄漏可能,适用于敏感性工艺。
2、尺寸紧凑,占地面积小高度低,进气口三个方向可选,非常方便集成入整体系统/设备中。
3、优化的螺杆/电机设计,使其成为目前市场上最省电的螺杆泵,低于10mbar运行<7Kw(DV650)。
4、泵为变频器控制,集成了温度、排气压强、电流、吹扫气压力等监控保护,提高运行可靠性。
5、水冷泵向环境散热少,噪音低,操作简单。
6、极少的维护保养需求和运行成本,最大的可靠性、灵活性和系统正常运行时间。
螺杆真空泵-DRYVAC DV典型运用:
薄膜太阳能——SiN, ZnO, α-Si/?-Si, CdTe, CIS/CIGS,,etc.
晶硅太阳能——PECVD,拉晶和铸锭
进出片室LL&ULL
显示器和玻璃镀膜
耐磨涂层技术
卷绕镀
真空炉和热处理
真空干燥
电子束焊接
空间模拟
科研领域