低温真空泵与热真空设备的应用

　　大家都知道现在真空系统在各个行业的应用越来越广泛，下面我们为大家介绍一下现在常用的低温真空泵与热真空设备吧。

　　低温真空泵(又称低温泵、冷泵、冷凝泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的容积式真空泵，是无油高真空环境获得设备。低温泵应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程，是集成电路专用设备中的关键设备之一;低温泵也用于各种其它镀膜设备和真空应用设备中。

　　热真空试验设备又称空间环境模拟设备或空间模拟器，它是模拟卫星及其组件在轨道运行中的高真空条件下，对卫星组件进行考验，这就是通常说的组件热真空试验。热真空试验箱主要由真空容器、热沉与辐射屏、试验平台、制冷、加热系统、真空系统、循环水系统、供气系统、测量与控制系统及安全保护系统组成。